Physique à l échelle atomique des couches minces Matériaux énergétiques, nano cellules solaires, micro et nanotechnologies, intégration des systèmes, nano fabrication - Collectif - Universitaires Euro

Ce travail porte sur l'optimisation des couches ultra minces pour micro & nanotechnologies par un outil de simulation Monte Carlo cinétique. Les limites et les faiblesses de la modélisation continue ont été mis en évidence d'où la nécessité de la simulation à l'échelle atomique pour comprendre la formation des ces couches aux premiers instants de leurs croissances. Différents mécanismes ont été introduits pour simuler les configurations choisies afin d'effectuer cette étude dans un système à un grand nombre d'atomes.La validation de notre simulation s'est effectuée sur la base des données expérimentales obtenues à l'aide des techniques RHEED, XPS et STM.Le couplage de notre simulateur aux logiciels de visualisation graphique a montré que l'ajustement des paramètres physico-chimiques telles que le coefficient de transfert de charges en O, la température d'oxydation et la pression du flux incident O2, conditionnent les résultats obtenus: composition chimique des oxydes à l'interface SiO2